Schichtdickenmessung von Isolationsschichten im Baubereich bis 10mm

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

25903.1 INNO-NM

Titre du projet

Schichtdickenmessung von Isolationsschichten im Baubereich bis 10mm

Etat du projet	Terminé

Date de début	13.03.2017
Date de fin	13.03.2018

Coûts totaux approuvés	7'500.00 CHF
Domaine	22 Förderbereich Nano / Micro
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % T171 Microélectronique

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