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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
25592.1 PFNM-NM
Titre du projet
HighIon: High ion generation, transmission and detection through a high duty-cycle and high energy acceptance time-of-flight analyser for secondary ion mass spectrometry (SIMS) applications and improvement of a caesium evaporator for SIMS
Titre du projet anglais
HighIon: High ion generation, transmission and detection through a high duty-cycle and high energy acceptance time-of-flight analyser for secondary ion mass spectrometry (SIMS) applications and improvement of a caesium evaporator for SIMS
Etat du projet Terminé
 
Date de début 01.05.2017
Date de fin 01.09.2021
 
Coûts totaux approuvés 929'059.25  CHF
Domaine 22 Förderbereich Nano / Micro
Catégorie de projet Projet
Type de recherche Recherche appliquée et développement
Code NABS Production et technologie industrielles
 
Disciplines/domaines
100 % T171 Microélectronique

Dernière modification du projet