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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
25592.1 PFNM-NM
Projekttitel
HighIon: Hohe Ionenrate, Transmission und Detektion mittels eines Flugzeitmassenspektrometers mit hoher Taktfrequenz und hohen Extraktionsspannungen der Ionen. Weiterentwicklung eines Cs-Verdampfers für SIMS Anwendungen.
Projekttitel Englisch
HighIon: High ion generation, transmission and detection through a high duty-cycle and high energy acceptance time-of-flight analyser for secondary ion mass spectrometry (SIMS) applications and improvement of a caesium evaporator for SIMS
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.05.2017
Endedatum 01.09.2021
 
Gesamtkosten bewilligt 929'059.25  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik

Letzte Änderung Projekt