Coribo: MEMS-based Micro-Coriolis Density and Flow Sensor Bonding

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

18894.1 PFNM-NM

Titre du projet

Coribo: MEMS-based Micro-Coriolis Density and Flow Sensor Bonding

Titre du projet anglais

Coribo: MEMS-based Micro-Coriolis Density and Flow Sensor Bonding

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.04.2016
Date de fin	01.09.2017

Coûts totaux approuvés	125'821.00 CHF
Domaine	22 Förderbereich Nano / Micro
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % T171 Microélectronique

Dernière modification du projet 29.07.2021