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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
18710.1 PFNM-NM
Projekttitel
Kompakter Kippspiegel
Projekttitel Englisch
Compact scanning mirror
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.05.2016
Endedatum 01.03.2018
 
Gesamtkosten bewilligt 477'405.00  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt