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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
16465.1 PFNM-NM
Projekttitel
Portable Ultra High Vacuum Scanning Probe Microscope - PSPM
Projekttitel Englisch
Portable Ultra High Vacuum Scanning Probe Microscope - PSPM
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.04.2014
Endedatum 01.04.2017
 
Gesamtkosten bewilligt 357'452.00  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014