High rate deposition of microcrystaline silicon for solar cell applications by means of a resonant network RF antenna

Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

15082.1;7 PFIW-IW

Projekttitel

High rate deposition of microcrystaline silicon for solar cell applications by means of a resonant network RF antenna

Projekttitel Englisch

High rate deposition of microcrystaline silicon for solar cell applications by means of a resonant network RF antenna

Projektstatus	Abgeschlossen

Startdatum	01.07.2013
Endedatum	12.11.2015

Gesamtkosten bewilligt	211'838.00 CHF
Bereich	23 Förderbereich Engineering
Proj. Kategorie	Projekt
Forschungsart	Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation	Nicht aufteilbare / nicht zuteilbare Forschung

Fachbereiche	100 % T130 Produktionstechnik

Letzte Änderung Projekt 27.11.2014