Control of Traveling EM Waves in Large Area (VHF) PECVD Reactors for the Production of Competitive Solar Panels

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

14823.1;9 PFNM-NM

Titre du projet

Control of Traveling EM Waves in Large Area (VHF) PECVD Reactors for the Production of Competitive Solar Panels

Titre du projet anglais

Control of Traveling EM Waves in Large Area (VHF) PECVD Reactors for the Production of Competitive Solar Panels

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.02.2013
Date de fin	28.11.2014

Coûts totaux approuvés	175'340.00 CHF
Domaine	22 Förderbereich Nano / Micro
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Recherches non ventilées / non attribuables

Disciplines/domaines	100 % T171 Microélectronique

Dernière modification du projet 27.11.2014