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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
14823.1;9 PFNM-NM
Projekttitel
Control of Traveling EM Waves in Large Area (VHF) PECVD Reactors for the Production of Competitive Solar Panels
Projekttitel Englisch
Control of Traveling EM Waves in Large Area (VHF) PECVD Reactors for the Production of Competitive Solar Panels
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.02.2013
Endedatum 28.11.2014
 
Gesamtkosten bewilligt 175'340.00  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Nicht aufteilbare / nicht zuteilbare Forschung
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014