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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
13254.1;6 PFFLM-NM
Titre du projet
Advanced Mask Aligner Lithography (AMALITH)
Titre du projet anglais
Advanced Mask Aligner Lithography (AMALITH)
Etat du projet Terminé
 
Date de début 01.01.2012
Date de fin 12.03.2014
 
Coûts totaux approuvés 551'402.00  CHF
Domaine 5 CTI
Catégorie de projet Projet
Type de recherche Recherche appliquée et développement
Code NABS Recherches non ventilées / non attribuables
 
Disciplines/domaines
100 % Pas encore déterminé
Dernière modification du projet
27.11.2014