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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
12596.2;6 PFNM-NM
Titre du projet
Mechanical Micro Metrology System (MMMS) for the Investigation and Quality Control of Micron Sized Objects
Titre du projet anglais
Mechanical Micro Metrology System (MMMS) for the Investigation and Quality Control of Micron Sized Objects
Etat du projet Terminé
 
Date de début 01.08.2011
Date de fin 29.06.2014
 
Coûts totaux approuvés 702'338.00  CHF
Domaine 22 Förderbereich Nano / Micro
Catégorie de projet Projet
Type de recherche Recherche appliquée et développement
Code NABS Recherches non ventilées / non attribuables
 
Disciplines/domaines
100 % T171 Microélectronique
Dernière modification du projet
27.11.2014