SEM integrated gas injection system for local three dimensional focused electron and ion beam CVD at nanometre scale

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

10710.1;8 PFNM-NM

Titre du projet

SEM integrated gas injection system for local three dimensional focused electron and ion beam CVD at nanometre scale

Titre du projet anglais

SEM integrated gas injection system for local three dimensional focused electron and ion beam CVD at nanometre scale

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.12.2009
Date de fin	11.06.2013

Coûts totaux approuvés	518'000.00 CHF
Domaine	22 Förderbereich Nano / Micro
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Recherches non ventilées / non attribuables

Disciplines/domaines	100 % T120 Technologie de systèmes, technologie de l'ordinateur

Dernière modification du projet 27.11.2014