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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
9758.1;5 PFNM-NM
Projekttitel
Simulation von Dichteigenschaften von Vakuumkomponenten mit Hilfe der Charakterisierung von Dichtflächen
Projekttitel Englisch
Simulation of sealing properties of vacuum components by characterisation of sealing surfaces
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.09.2008
Endedatum 25.05.2011
 
Gesamtkosten bewilligt 580'000.00  CHF
Bereich 22 Förderbereich Nano / Micro
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Nicht aufteilbare / nicht zuteilbare Forschung
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014