Scanning probe microscope inside a scanning electron/ion microscope for hybrid applications

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

9208.1;5 PFNM-NM

Titre du projet

Scanning probe microscope inside a scanning electron/ion microscope for hybrid applications

Titre du projet anglais

Scanning probe microscope inside a scanning electron/ion microscope for hybrid applications

Etat du projet	Terminé

Date de début	05.06.2008
Date de fin	09.02.2012

Coûts totaux approuvés	420'695.00 CHF
Domaine	22 Förderbereich Nano / Micro
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Recherches non ventilées / non attribuables

Disciplines/domaines	100 % T170 Electronique

Dernière modification du projet 27.11.2014