Technologie de micro-fabrication de pièces mixtes silicium/métal

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

8913.1;4 PFNM-NM

Titre du projet

Technologie de micro-fabrication de pièces mixtes silicium/métal

Titre du projet anglais

Micro fabrication technology of mixed silicon/metal components

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.08.2007
Date de fin	03.12.2009

Coûts totaux approuvés	330'000.00 CHF
Domaine	22 Förderbereich Nano / Micro
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Recherches non ventilées / non attribuables

Disciplines/domaines	100 % T170 Electronique

Dernière modification du projet 27.11.2014