En-tête de navigationNavigation principaleSuiviFiche

Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
7809.2;6 NMPP-NM
Titre du projet
High speed scanning interferometer for 5nm precision gap control on multilayered substrates
Titre du projet anglais
High speed scanning interferometer for 5nm precision gap control on multilayered substrates
Etat du projet Terminé
 
Date de début 01.05.2006
Date de fin 05.05.2010
 
Coûts totaux approuvés 232'540.00  CHF
Domaine 22 Förderbereich Nano / Micro
Catégorie de projet Projet
Type de recherche Recherche appliquée et développement
Code NABS Recherches non ventilées / non attribuables
 
Disciplines/domaines
100 % T171 Microélectronique
Dernière modification du projet
27.11.2014