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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
6654.1;3 NMS-NM
Titre du projet
Micro jet perturbation reduction by etched high-pressure nozzles aiming reduction of street-width in chip-singulation by water-jet guided laser cutting
Etat du projet Terminé
 
Date de début 01.09.2003
Date de fin 23.05.2012
 
Coûts totaux approuvés 168'000.00  CHF
Domaine 17 TOP NANO
Catégorie de projet Projet
Type de recherche Recherche appliquée et développement
Code NABS Production et technologie industrielles
 
Disciplines/domaines
100 % T171 Microélectronique
Dernière modification du projet
27.11.2014