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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
6654.1;3 NMS-NM
Projekttitel
Micro jet perturbation reduction by etched high-pressure nozzles aiming reduction of street-width in chip-singulation by water-jet guided laser cutting
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.09.2003
Endedatum 23.05.2012
 
Gesamtkosten bewilligt 168'000.00  CHF
Bereich 17 TOP NANO
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % T171 Mikroelektronik
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014