Characterization of photo-plastics in view of full-wafer microfabrication of low cost scanning probe microscopy sensors

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

5968.1;4 TNS-NM

Titre du projet

Characterization of photo-plastics in view of full-wafer microfabrication of low cost scanning probe microscopy sensors

Etat du projet	Terminé

Date de début	01.10.2002
Date de fin	31.03.2006

Coûts totaux approuvés	49'000.00 CHF
Domaine	17 TOP NANO
Catégorie de projet	Projet
Type de recherche	Recherche appliquée et développement
Code NABS	Production et technologie industrielles

Disciplines/domaines	100 % T150 Technologie de matériaux

Dernière modification du projet 27.11.2014