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Unité de recherche
INNOSUISSE
Numéro de projet
4299.2;2 KTS
Titre du projet
Entwicklung von Prozessen zur Deposition von spannungsarmen Niedertemperatur-Isolationsschichten für microsystemtechnische und mikroelektronische Anwendungen
Etat du projet Terminé
 
Date de début 01.04.1999
Date de fin 13.10.2003
 
Coûts totaux approuvés 214'000.00  CHF
Domaine 5 CTI
Catégorie de projet Projet
Type de recherche Recherche appliquée et développement
Code NABS Production et technologie industrielles
 
Disciplines/domaines
100 % Pas encore déterminé
Dernière modification du projet
27.11.2014