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Research unit
INNOSUISSE
Project number
4299.2;2 KTS
Project title
Entwicklung von Prozessen zur Deposition von spannungsarmen Niedertemperatur-Isolationsschichten für microsystemtechnische und mikroelektronische Anwendungen
Project status Finished
 
Start date 01.04.1999
End date 13.10.2003
 
Granted total costs 214'000.00  CHF
Section 5 CTI
Project category Project
Research type Applied research and development
NABS classification Industrial production and technology
 
Research disciplines
100 % Not yet defined
Last modification of the project
27.11.2014