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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
3651.1;3 KTS
Projekttitel
SHA-08 - optical lithography tool for the next centry
Projektstatus Abgeschlossen
 
Startdatum 01.01.1998
Endedatum 03.07.2003
 
Gesamtkosten bewilligt 320'000.00  CHF
Bereich 5 KTI
Proj. Kategorie Projekt
Forschungsart Angewandte Forschung und Entwicklung
NABS-Klassifikation Industrielle Produktivität und Technologie
 
Fachbereiche
100 % Noch nicht erfasst
Letzte Änderung Projekt
27.11.2014