Entwicklung von Niedertemperatur-Prozessschritten für eine Siliziumtechnologie im Ultrahochvakuum

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

2878.1;1 MJK

Titre du projet

Entwicklung von Niedertemperatur-Prozessschritten für eine Siliziumtechnologie im Ultrahochvakuum

Participants
Office fédéral/ Unité administrative	Innosuisse Agence suisse pour l'encouragement de l'innovation Einsteinstrasse 2 CH-3003 Bern +41 58 461 61 61 (Central) info@innosuisse.ch www.innosuisse.ch/

Personne à contacter

Dr.
Hans VON KAENEL
ETH Zürich
ETH-Hönggerberg/HPF
CH-8093 ZÜRICH
01 633 2261

Participants