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Forschungsstelle
INNOSUISSE
Projektnummer
2878.1;1 MJK
Projekttitel
Entwicklung von Niedertemperatur-Prozessschritten für eine Siliziumtechnologie im Ultrahochvakuum

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit Innosuisse
Schweizerische Agentur
für Innovationsförderung
Einsteinstrasse 2
CH-3003 Bern
+41 58 461 61 61 (Zentrale)
info@innosuisse.ch
www.innosuisse.ch/
Kontaktperson

 Dr.
Hans VON KAENEL
ETH Zürich
ETH-Hönggerberg/HPF
CH-8093 ZÜRICH
01 633 2261