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Research unit
EU RFP
Project number
98.0194
Project title
Replication of micro- and nanostructures

Participants

Research organisation:
Contact person

 Dr.
Helmut Schift
Paul Scherrer Institut PSI
Laboratorium für Mikro- und
Nanotechnologie
CH-5232 Villigen PSI
056 310 28 39
helmut.schift@psi.ch