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Research unit
EU RFP
Project number
97.0564
Project title
CVD-MONITORING: Improved CVD process control by in-situ spectroscopic monitoring

Participants

Research organisation:
Contact person

 Dr.
Ulrich Vogt
Eidg. Materialprüfungs- und
Forschungsanstalt EMPA
Hochleistungskeramik
Überlandstrasse 129
CH-8600 Dübendorf
01 823 41 60