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Forschungsstelle
EU FRP
Projektnummer
96.0278-2
Projekttitel
PROMPT II: Process optimization in multiple dimensions for semiconductor technology II
Projekttitel Englisch
PROMPT II: Process optimization in multiple dimensions for semiconductor technology II

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit
Kontaktperson

 Prof. Dr.
Wolfgang Fichtner
ETH Zürich
Institut für Integrierte Systeme
Gloriastrasse 35
CH-8092 Zürich
01 632 53 33
fichtner@iis.ee.ethz.ch