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Forschungsstelle
COST
Projektnummer
C14.0087
Projekttitel
In-situ characterisation of direct-write gas-assisted focused electron beam induced processing
Projekttitel Englisch
In-situ characterisation of direct-write gas-assisted focused electron beam induced processing

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit
Kontaktperson

 Dr.
Ivo Utke
Eidg. Materialprüfungs- und
Forschungsanstalt EMPA
Feuerwerkerstrasse 39
CH-3602 Thun
058 765 62 57
ivo.utke@empa.ch