Black SU-8 photoresist optimizations for different microfabrication processes to a quick market delivery.

Unité de recherche

INNOSUISSE

Numéro de projet

13613.1;4 PFFLM-NM

Titre du projet

Black SU-8 photoresist optimizations for different microfabrication processes to a quick market delivery.

Titre du projet anglais

Black SU-8 photoresist optimizations for different microfabrication processes to a quick market delivery.

Participants
Office fédéral/ Unité administrative	Innosuisse Agence suisse pour l'encouragement de l'innovation Einsteinstrasse 2 CH-3003 Bern +41 58 461 61 61 (Central) info@innosuisse.ch www.innosuisse.ch/

Personne à contacter

Prof. Dr.
Heinrich Hofmann
EPFL
EPFL - Powder Technology Laboratory
Station 12
CH-1015 Lausanne
021 693 36 07
heinrich.hofmann@epfl.ch

Participants