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Unité de recherche
METAS
Numéro de projet
115.97.01
Titre du projet
Photomask Measuring System
Titre du projet anglais
Photomask Measuring System

Participants
Office fédéral/ Unité administrative Institut fédéral de métrologie
METAS
Lindenweg 50
CH-3003 Bern-Wabern
+41 58 387 01 11 (Information)
info@metas.ch
www.metas.ch/
Personne à contacter

 Dr.
Felix Meli
Eidg. Institut für Metrologie
Lindenweg 50
CH-3003 Bern-Wabern
+41 58 387 03 46 (direkt)
felix.meli@metas.ch

Chef/Cheffe de projet

 Dr.
Felix Meli
Eidg. Institut für Metrologie
Lindenweg 50
CH-3003 Bern-Wabern
+41 58 387 03 46 (direkt)
felix.meli@metas.ch