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Research unit
METAS
Project number
115.97.01
Project title
Photomask Measuring System

Participants

Research organisation: Swiss Federal Institute of
Metrology METAS
Lindenweg 50
CH-3003 Bern-Wabern
+41 58 387 01 11
info@metas.ch
www.metas.ch/
Contact person

 Dr.
Felix Meli
Eidg. Institut für Metrologie
Lindenweg 50
CH-3003 Bern-Wabern
+41 58 387 03 46 (direkt)
felix.meli@metas.ch

Project leader

 Dr.
Felix Meli
Eidg. Institut für Metrologie
Lindenweg 50
CH-3003 Bern-Wabern
+41 58 387 03 46 (direkt)
felix.meli@metas.ch