Nanostructered Piezo-Ceramic PZT Thin Films for Adaptive Materials using Sputter Deposition Technique

Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

6097.1;6 TNS-NM

Projekttitel

Nanostructered Piezo-Ceramic PZT Thin Films for Adaptive Materials using Sputter Deposition Technique

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit	Innosuisse Schweizerische Agentur für Innovationsförderung Einsteinstrasse 2 CH-3003 Bern +41 58 461 61 61 (Zentrale) info@innosuisse.ch www.innosuisse.ch/

Kontaktperson

Dr.
Armin Fischer
EMPA
Postfach 997
Lerchenfeldstrasse 5
CH-9014 St. Gallen
071 274 76 79
armin.fischer@empa.ch

Beteiligte