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Forschungsstelle
EU FRP
Projektnummer
00.0485
Projekttitel
HIRONDELLE: High-resolution optical non-destructive evaluation for electro-optical leading-edge microsystems
Projekttitel Englisch
HIRONDELLE: High-resolution optical non-destructive evaluation for electro-optical leading-edge microsystems

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit
Kontaktperson

 Dr.
Urs Sennhauser
Eidg. Materialprüfungs- und
Forschungsanstalt EMPA
Abteilung Elektronik/Messtechnik
Überlandstrasse 129
CH-8600 Dübendorf
043 823 41 73
urs.sennhauser@empa.ch