MELODE:MEMBRANE FOR LOCAL DEPOSITION: Apparatus and method for defining surface structures at the micron and nanoscale beyond lithography.

Forschungsstelle

INNOSUISSE

Projektnummer

5828.1;5 TNS-NM

Projekttitel

MELODE:MEMBRANE FOR LOCAL DEPOSITION: Apparatus and method for defining surface structures at the micron and nanoscale beyond lithography.

Projekttitel Englisch

MELODE:MEMBRANE FOR LOCAL DEPOSITION: Apparatus and method for defining surface structures at the micron and nanoscale beyond lithography.

Beteiligte
Bundesstelle/ Verwaltungseinheit	Innosuisse Schweizerische Agentur für Innovationsförderung Einsteinstrasse 2 CH-3003 Bern +41 58 461 61 61 (Zentrale) info@innosuisse.ch www.innosuisse.ch/

Kontaktperson

Prof. Dr.
Jürgen Brugger
EPFL
STI IMT LMIS1
Station 17
CH-1015 Lausanne
021 693 65 73
juergen.brugger@epfl.ch

Beteiligte