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Research unit
INNOSUISSE
Project number
2846.1;2 MJK
Project title
Untersuchung der plasmatechnischen Reaktion bei der Reinigung von Silicium und von Metallen

Associated projects
Research organisation: Schweizerische Agentur für Innovationsförderung
Project number 2634.1;1 MJK
Project title Untersuchung der plasmachemischen Reaktion bei der Reinigung von Metallen und Si-Wafern